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干法去胶和干法刻蚀设备有什么区别？

常见问题发布时间：2026-08-05 15:56:49

两类设备对应不同工艺需求。干法去胶通常用于去除光刻胶及相关残留，干法刻蚀则主要用于图形加工和材料去除。具体适用材料、工艺窗口和设备型号应由技术人员结合制程要求确定。

两类设备对应不同工艺需求。干法去胶通常用于去除光刻胶及相关残留，干法刻蚀则主要用于图形加工和材料去除。具体适用材料、工艺窗口和设备型号应由技术人员结合制程要求确定。

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