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中国电科十三所量子精密测量用原子磁体与微型蒸发皿芯片
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中国电科十三所量子精密测量用原子磁体与微型蒸发皿芯片

十三所量子精密测量与微型原子封装芯片突破技术审核:李明(量子器件专家)|发布日期:2026年8月7日基于碱金属原子(如铯、铷)能级跃迁的量子精密测量技术,是实现高精度原子钟、微型超灵敏磁力计及芯片级惯性导航的底层支撑。中国电子科技集团公司第十三研究所利用MEMS(微机电系统)深硅刻蚀、玻璃-硅阳极键合及高纯碱金属充注工艺,成功研制出芯片级微型原子气室(VaporCell)与原子磁力计核心集成芯